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納米定位壓電彎曲平臺

微型舞臺

線性平臺

線性執行器

旋轉臺

XY平臺

PI的多軸壓電撓性位移臺允許在多達6個軸上以亞納米精度進行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運動。版本范圍從最緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術的全方位工具。應用包括樣品調整，技術，光學計量，光纖定位和光子學以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統均已在工廠校準，并隨測量記錄一起提供。

P-733.3 XYZ壓電納米定位器

應用領域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩膜/晶圓定位

·         表面測量技術

·         納米壓印

·         顯微操作

·         圖像處理/穩定

·         納米定位具有很高的平面度和運動平直度

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。

自動配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據需要進行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。

適用于復雜的真空應用

壓電系統中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統可實現極低的除氣率。

PICMA®壓電執行器，使用壽命長

獲得專利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內工作。

平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考。可以實時（取決于帶寬）主動補償（主動引導）軸之間的不良串擾。即使在動態操作中，也可以在納米范圍內實現高跟蹤精度。

P-733.3CD

P-733.3CL       

P-733.3DD

應用領域：

·         更多其他產品的型號如下

·         Physik Instrumente  M-235.5DG

·         Physik Instrumente  FH430A69-05+197

·         Physik Instrumente  S-330.2SH

·         Physik Instrumente  PI E-727.3SDA

·         Physik Instrumente  PI E-727.3SD

·         Physik Instrumente  P-561.3CD

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·         Physik Instrumente  P-562.6CD

·         Physik Instrumente  E-712.6CD

·         Physik Instrumente  S-330.2SL

·         Physik Instrumente  E-501.00

·         Physik Instrumente  E-503.00S

·         Physik Instrumente  E-509.S3

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·         Physik Instrumente  P-616.3C

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·         Physik Instrumente  E-873.1AT

·         Physik Instrumente  H-825.D2A

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·         Physik Instrumente  E-831.05

·         Physik Instrumente  E-841.55

·         Physik Instrumente  N-565.160

·         Physik Instrumente位移臺