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品牌BUSCH	有效期至長期有效	最后更新2020-09-30 10:43
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BUSCH 螺桿真空泵COBRA DS 0080/0160 G

先進的螺絲設計

高效：

經濟高效，維護最少，正常運行時間長

靈活：

面向應用

流程時間短：

由于抽速高

堅固：

內部組件上有防腐蝕涂層

設計緊湊

COBRA DS 0080/0160 G是成熟的COBRA DS系列中的干螺桿真空泵。即使在要求高氫氣通過量的條件下，它們的高抽速也使COBRA DS螺桿真空泵成為光伏電池，平板顯示器和半導體生產中所有苛刻過程的理想選擇。最先進的COBRA DS螺桿真空泵技術可將粉狀和顆粒狀介質排空。

COBRA DS干式螺桿真空泵具有干式壓縮，專門開發的螺桿輪廓和無阻礙的氣體排放。結果是高度的蒸汽和顆粒耐受性。螺釘由一體式鑄件制成??，避免了任何間隙，從而使過程流體或顆粒無法進入，從而防止了腐蝕。

配備高效電機，COBRA DS 0080/0160 G具有出色的能源效率。由于維護需求低，運營成本低，正常運行時間長且生命周期長，因此總擁有成本非常低，因此在此性能級別中樹立了標準。

由于采用了就地安裝設計，因此可以快速，輕松地將這些螺桿真空泵改裝為現有系統。

應用領域

高密度等離子CVD（HDP-CVD）

快速熱處理（RTP）

低于大氣壓CVD（SACVD）

金屬有機CVD（MOCVD）

等離子增強CVD（PECVD）

低壓CVD（LPCVD）

原子層沉積（ALD）

技術說明

技術規格COBRA DS氣缸

內的兩個螺桿轉子沿相反方向旋轉。泵送的介質被截留在氣缸和螺旋腔之間，被壓縮并輸送到出氣口。在壓縮過程中，螺桿轉子不會相互接觸

其他或圓柱體。因此，在壓縮室中不需要潤滑劑或工作流體。COBRA DS系列真空泵使用高效的間接水冷技術，可在整個泵體內實現可控的溫度分布，并能夠響應工藝變化。先進的螺桿設計可實現極高的抽氫速度。

尺寸

COBRA DS 0080/0160 G

抽速

空氣在20°C。公差：±10％ 50赫茲 60赫茲