通光孔徑，高運動精度和穩(wěn)定性，磁力直接驅(qū)動

行程為102毫米×102毫米(4")

單向重復(fù)精度達(dá)0.1微米

三相線性電機(jī)

大孔徑，150毫米×150毫米

速度達(dá)500毫米/秒

高分辨率增量線性編碼器

PIMag磁力直接驅(qū)動

三相磁性直接驅(qū)動器在動力傳動系統(tǒng)中未使用機(jī)械零件，其可直接將驅(qū)動力傳輸至運動平臺，且無摩擦。驅(qū)動器可實現(xiàn)高速度和高加速度。 無鐵芯電機(jī)非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù)，因為其不會與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運行，同時，在高速狀態(tài)下也不會產(chǎn)生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅(qū)動力可任意設(shè)定。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

可按需提供其他行程。

再循環(huán)滾珠軸承

再循環(huán)滾珠軸承經(jīng)過認(rèn)真組裝后，具有高負(fù)載能力、長使用壽命、使用免保養(yǎng)和高導(dǎo)向精度等多種特點。平臺的移動部件由在兩個導(dǎo)軌上移動的四個預(yù)加載線性球形軸承支持。每個軸承單元由兩個獨立的循環(huán)滾珠軸承組成。

應(yīng)用領(lǐng)域

醫(yī)藥行業(yè), 激光切割, 掃描, 生物技術(shù), 計量, AOI（自動光學(xué)檢驗）, 顯微鏡

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