德國PI公司是精密運動和定位領域的全球解決供應商。

PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統。

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A-311 帶空氣軸承的PIglideIS平面掃描儀

高性能，緊湊型XY納米定位系統

掃描應用的完美選擇或精密定位

行程達200 毫米 × 200 毫米

低外形

無塵室兼容

負載容量達147 牛

分辨率達1納米

產品概述

帶空氣軸承的高精度PIglide IS XY 平面掃描儀采用扁平設計，可用于替代堆疊XY位移平臺。高效、緊湊的設計安裝空間有限，能夠節省機械空間。

PIMag®磁力直接驅動

三相磁性直接驅動器在動力傳動系統中未使用機械零件，其可直接將驅動力傳輸至運動平臺，且無摩擦。驅動器可實現高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務，因為其不會與永久性磁鐵發生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩的運行，同時，在高速狀態下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。

利用來自領先制造商的數字控制器，操作可提供高級控制算法，以改善動態性和誤差補償。

附件和可選配件

編碼器

PIglide過濾器和空氣預處理器

多軸運動控制器和直接驅動器

機器底座

花崗巖底座板和隔振系統

應用領域

PIglide 定位系統特別適合高精度應用，例如檢測系統、激光打標、顯微鏡或掃描。

訂購信息

A-311.AA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.AB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.BA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.BB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.CA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.CB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.DA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.DB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) C-844.4DC

PI (Physik Instrumente) E-503.00S

PI (Physik Instrumente) E-625.SR

PI (Physik Instrumente) P-611.1S 

PI (Physik Instrumente) E-727.3SDF

PI (Physik Instrumente) P-721.12Q

PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

PI (Physik Instrumente) C-843.21

PI (Physik Instrumente) M-061.PD

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

PI (Physik Instrumente) C-843.21

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德國PI (Physik Instrumente)A-311 帶空氣軸承的PIglideIS平面掃描儀