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高性能，緊湊型XY納米定位系統

掃描應用的完美選擇或精密定位

行程達200 毫米 × 200 毫米

低外形

無塵室兼容

負載容量達147 牛

分辨率達1納米

產品概述

帶空氣軸承的高精度PIglide IS XY 平面掃描儀采用扁平設計，可用于替代堆疊XY位移平臺。高效、緊湊的設計安裝空間有限，能夠節省機械空間。

PIMag®磁力直接驅動

三相磁性直接驅動器在動力傳動系統中未使用機械零件，其可直接將驅動力傳輸至運動平臺，且無摩擦。驅動器可實現高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務，因為其不會與永久性磁鐵發生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩的運行，同時，在高速狀態下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。

利用來自領先制造商的數字控制器，操作可提供高級控制算法，以改善動態性和誤差補償。

附件和可選配件

編碼器

PIglide過濾器和空氣預處理器

多軸運動控制器和直接驅動器

機器底座

花崗巖底座板和隔振系統

應用領域

PIglide 定位系統特別適合高精度應用，例如檢測系統、激光打標、顯微鏡或掃描。

訂購信息

A-311.AA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.AB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.BA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.BB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.CA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.CB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.DA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-311.DB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏