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掃描應用的完美選擇或精密定位

運動平臺的尺寸160毫米×200 毫米

負載容量達100 牛

無塵室兼容

行程達400 毫米

PIglide參考級線性平臺

PIglide定位系統具有一個磁性線性電機、磁性預載空氣軸承和一個光學線性編碼器：非接觸式無摩擦運動實現最佳精度和可靠性

附件和可選配件

編碼器

PIglide過濾器和空氣預處理器

單軸和多軸運動控制器

XY裝置和個性化配置

花崗巖底座板和隔振系統

應用領域

PIglide定位系統非常適用于高精度應用，諸如計量、光子學和精密掃描以及半導體或平板顯示器制造中的應用。

由于運動無摩擦，不會形成顆粒，PIglide平臺非常適用于無塵室應用。

訂購信息

A-110.050A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.050B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.100A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.100B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.200A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.200B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.300A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，300毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.300B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，300毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.400A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，400毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.400B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，400毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏