P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統

六自由度高精度納米定位系統

楊文輝 QQ：2850590598   手機：18301216381 電話：010-64717020-118 傳真：010-84786709-666 郵件：sales11@handelsen.cn

§ 6個運動軸：3個為線性，3個為旋轉

§ 行程達200微米（線性）和1毫弧度（偏 擺角）

§ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 優異的掃描平面度

§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 超高真空兼容至10-9百帕

應用領域

·         掃描顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         生物技術

·         掩模/晶圓定位

·         樣本定位

·         干涉測量

·         計量

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

并聯位置測量實現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動導向）。即使在動態操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可實現極低的排氣率。

訂購信息

P-562.6CD PIMars6軸納米定位系統，200微米，1毫弧度，平行計量

可按需提供其他行程。

P-587 六軸精密壓電平臺

長行程，直接位置測量

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描

§ 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米

§ 最大旋轉角度達1微弧度

§ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 六 自由度主動補償

應用領域

·         干涉測量

·         計量

·         納米壓印

·         半導體測試

·         半導體制造

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可實現極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

訂購信息

P-587.6CD

帶長行程的六軸納米定位系統，800微米 × 800微米 × 200微米，±0.5毫弧度，平行計量，電容傳感器