Physik Instrumente-N-765 精密Z向位移臺(tái)參數(shù)

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·         采用PIOne增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接測(cè)量，分辨率為0.5納米

·         最小位移達(dá)1納米

·         行程為6.5毫米

·         負(fù)載能力達(dá)25牛

·         可以直接安裝在N-565線性定位器上

 Instrumente-N-765 精密Z向位移臺(tái)參數(shù) 

NEXACT®參考級(jí)線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)器的線性定位器可實(shí)現(xiàn)較長(zhǎng)行程范圍內(nèi)的納米級(jí)高精度定位。其配置直接測(cè)量線性編碼器和交叉滾柱軸承，可實(shí)現(xiàn)最高精度。緊湊、扁平的設(shè)計(jì)使定位器能輕松實(shí)現(xiàn)機(jī)械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)結(jié)合在一起。PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不僅能提供亞納米級(jí)分辨率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動(dòng)原理，其還能實(shí)現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機(jī)動(dòng)化驅(qū)動(dòng)器原理，PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸，這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)動(dòng)輪步進(jìn)。前饋時(shí)，促動(dòng)器被從動(dòng)輪處物理提升，幾乎不會(huì)造成任何磨損。在促動(dòng)器上相對(duì)于動(dòng)輪施加預(yù)載可確保步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器自鎖。因此，步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器靜止?fàn)顟B(tài)下將保持位置，關(guān)機(jī)時(shí)可實(shí)現(xiàn)機(jī)械穩(wěn)定（無伺服抖動(dòng)）。靜止?fàn)顟B(tài)自鎖，無能量消耗，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測(cè)量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測(cè)量原理。其以極高的精度直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行實(shí)際位置測(cè)量，因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)位置測(cè)量造成影響。由于信號(hào)周期僅為0.5微米，信號(hào)質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號(hào)時(shí)支持方向感應(yīng)。

 

訂購信息

Q-521,100 Q-Motion® 小型線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為12毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-521.130 Q-Motion® 小型線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-521,140 Q-Motion® 小型線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-521.14U Q-Motion® 小型線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

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