德國Physik Instrumente CD PIMars 6軸納米定位平臺P-562.6

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　　具有 6 度自由度的高精度納米定位器

　　6 個運動軸：3 個×線性，3 個旋轉×

　　行程范圍為 200 μm 線性和 1 mrad 尖端/傾斜角度

　　并行運動學，可提高響應時間和更高的多軸精度

　　電容式傳感器導致的最高線性

　　零播放、高精度彈性制導系統

　　出色的掃描平整度

　　清除孔徑 66 毫米× 66 毫米

　　由于 PICMA 壓電執行器的杰出壽命

　　超高頻兼容到 10-9h 帕

　　應用字段

　　掃描顯微鏡

　　超分辨率顯微鏡

　　生物工藝學

　　面膜/晶圓定位

　　樣本定位

　　干涉

　　度量衡學

　　帶電容傳感器的子納米分辨率

　　電容式傳感器在不接觸的情況下使用亞納米分辨率進行測量。它們保證了 kHz 范圍內出色的運動線性、長期穩定性和帶寬。

　　自動配置和快速組件交換

　　力學和控制器可以根據需要進行組合并快速交換。所有伺服和線性化參數都存儲在機械師 D 子連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時，數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。

　　適用于復雜的真空應用

　　壓子系統中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作時無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓子系統允許特別低的超高氣率。

　　杰出的一生感謝 PICMA 壓子執行器

　　獲得專利的PICMA壓電執行器均為全陶瓷絕緣。這可以防止因泄漏電流增加而導致的濕度和故障。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍。1000億個周期，沒有一個單一的失敗被證明。

　　由于零播放彈性指南，指導精度高

　　Flexure 指南無需維護、摩擦和磨損，不需要潤滑。它們的剛度允許高負載容量，并且對沖擊和振動不敏感。它們是 100% 真空兼容和工作在廣泛的溫度范圍內。

　　由于平行位置測量，納米范圍內的跟蹤精度很高

　　所有自由度都是用一個固定的參考來衡量的。軸之間不受歡迎的相聲可以實時(取決于帶寬)得到積極補償(主動引導)。即使在動態操作中，納米范圍內也會實現高跟蹤精度。

　　公司簡介

　　H-811

　　H-810

　　H-206

　　H-850

　　H-811.511

　　H-860KMAG

　　P-911KNMV

　　HP-300

　　SF-450PS

　　SF-300PS

　　HP-550

　　M-850KHTH

　　M-850KHLH

　　M-850KWAH

　　在過去的五十年里，PI已經發展成為納米定位技術的領先制造商。創業行為的關鍵要素和動機始終不變：為客戶找到最佳解決方案。

　　PI 以其產品質量而聞名，多年來一直是全球精密定位技術市場的領先者之一。其中最重要的組成部分之一是國際 PI 家族中的團隊精神，這種團隊精神基于超越國際邊界和職能限制的相互理解和支持。

　　PI 是一家健康發展的私營公司，在全球擁有 1000 多名員工，是一個靈活、垂直整合的組織，使 PI 能夠滿足創新精密定位技術領域的幾乎所有要求。PI 的首要任務是成為客戶可靠且高素質的合作伙伴。

　　PI Group 能夠準確響應客戶的需求：具體要求通常只能通過定制解決方案來滿足，而解決方案只能通過非常規和創造性的思維才能找到。

　　N-216

　　N-111

　　N-310

　　U-264

　　N-422

　　P-601

　　P-602

　　P-603

　　P-604

　　這意味著客戶：

　　訓練有素的專家的個人咨詢

　　可持續備件服務和供應能力

　　已發送的每個定位系統的資格

　　現場培訓和個人支持

　　后銷售服務

　　國際支持

　　工程專業知識

　　所有關鍵技術都是在內部開發的。PI 的技術范圍使員工能夠充分培養他們對技術的熱情。從精密力學和電子學到定位傳感器技術和 Pi 陶瓷和在 PI 陶瓷公司開發的執行器。技術的發展范圍從基礎到應用特定版本：最好的解決方案來自技術潛力，技術潛力來自多年積累的技術和相應的生產能力。

　　2017年落成的新技術中心擴展并集中了開發和建設方面的能力和專業知識。

　　垂直生產范圍和生產能力

　　現代化的生產管理和綜合管理系統使 PI 能夠保證其產品、工藝和服務的高質量。

　　組織和流程的不斷完善是企業文化不可分割的一部分。KAIZEN 研討會和積極的創新管理是實現這一目標的重要因素。

　　標準系列的生產工藝通過分形生產結構靈活，因此甚至可以制造具有全過程控制的大型系列。

　　主動的、基于系統的要求管理使得完全免除存儲設施成為可能。

　　從兩噸六角星到 10 克納米定位器的產品頻譜要求 PI 擁有其可處置的設備和技術，使系統能夠制造、組裝和合格。

　　13.000平方米生產面積

　　真空技術

　　位置傳感器的內部生產

　　氣候和振動隔離測量條件

　　使用可追溯的外部校準測量設備進行計量

　　帶起重和旋轉裝置的重型大廳

　　5.000 平方米清潔生產室

　　從材料組成到最終檢查的壓電執行器技術監測

　　分形制造組織

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