ADL主要系列產(chǎn)品：

1、直流電源 GS 系列 0.5 - 3.0kW GS 05 - GS 30

緊湊型電源是為生產(chǎn)工廠和實驗室中的磁控管開發(fā)的。簡單和安全的操作使這些電源非常靈活，適用于許多過程。電弧處理會根據(jù)不同的工藝參數(shù)自動調(diào)整，因此無需編程。這些裝置專為安裝在 19" 機(jī)架中而設(shè)計。

 

輸出功率 0.5 - 3.0kW

風(fēng)冷

½ 19″–外殼，3 HU

可互換的接口

電壓、電流、功率顯示

通過前面板手動操作

自動電弧處理

 

2、直流電源 GS 系列 6.0 - 15kW GS 60 - GS 150

GS 60 – GS 150 系列風(fēng)冷直流電源提供三種不同的版本：有源前面板、無源前面板和狀態(tài) LED。電源可以在沒有占空比限制的情況下以全額定功率運行。多個電源的并聯(lián)運行是可能的。GS 60 – GS 150 系列與 ADL 的所有電源一樣，具有極快的自動消弧功能。電源的操作既簡單又安全。

 

輸出功率 6.0 - 15kW

風(fēng)冷

19″–機(jī)箱，3 HU

浮動輸出

焦耳模式

自動電弧處理

 

3、直流電源 GSW 系列 10.0 - 30kW GSW 100 - GSW 300

并聯(lián)運行時，輸出功率可增加到240kW。由于采用了特殊的電路布置，因此不需要“主從接線”。即使在沒有空調(diào)的房間里，高效的水冷也能保證最高的可靠性。電源可通過前面板或接口手動操作。有不同的前面板和接口可用。超快速電弧處理完全自動工作，即使在并行操作中也不需要同步。

 

輸出功率 10 – 30kW

水冷

19″–機(jī)箱，3 HU

浮動輸出

并聯(lián)運行高達(dá) 240 KW

自動電弧處理

 

4、直流電源 GX 系列 5.0 - 15kW GX 50 - GX 150

GX-Sputtering 電源能夠每秒自動消除高達(dá) 80.000 個電弧。這種極端的能力與電源的小尺寸相結(jié)合，對于 GX 系列來說非常出色且意義重大，該系列還具有集成的陰極鉗位二極管。電源可以在沒有占空比限制的情況下以全額定功率運行。

 

輸出功率 5 - 15 kW

水冷

½ 19″–外殼，3 HU

浮動輸出

焦耳模式

自動電弧處理

 

5、直流濺射電源 HX 150 – HX 300

½ 19” 寬度和 5 HU 的非常緊湊的設(shè)計專為沒有機(jī)柜的生產(chǎn)工廠而設(shè)計。HX 具有安裝法蘭，可以在任何位置集成到或連接到等離子室。顯示器可以旋轉(zhuǎn)并與電源分離。即使在沒有空調(diào)的房間里，高效的水冷也能確保最高的可靠性。為了避免冷凝水，可以通過集成溫度控制連接外部電磁閥。并聯(lián)運行時輸出功率可達(dá)240kW。特殊的電子設(shè)計允許主從操作以及通過 Interface-Combiner 或 Profibus 的并行操作。極快的 Arc-Handling 完全自動工作，因此無需設(shè)置參數(shù)

 

輸出功率 15kW – 30kW

并聯(lián)運行高達(dá)240kW

水冷

電磁閥控制

帶集成顆粒攔截器的機(jī)柜通風(fēng)

½ 19”- 外殼，5 HU

法蘭安裝

M8-吊眼用內(nèi)螺紋

可更換、可旋轉(zhuǎn)的顯示器

自動電弧處理

 

7、離子源電源

對于離子源（Kaufmann 和 ECR）的操作，可使用特殊電源。根據(jù)要求，這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率。所有電源都有一個模擬接口或 Profibus

 

8、脈沖發(fā)生器、選件和附件：RD 300、D 300、RC4、AM2、OM5

脈沖發(fā)生器 RD 300 與大多數(shù) ADL 電源結(jié)合使用諧振開關(guān)電路。憑借非凡的效率（30kW 時為 99.5%），該裝置非常緊湊，功耗最大為 150W。現(xiàn)有設(shè)備可以輕松改造，因為脈沖發(fā)生器 RD 300 直接與直流電源并聯(lián)連接到陰極。發(fā)生器以 2kHz 的固定頻率運行。然而，使用外部信號發(fā)生器，該頻率可以在 0.2 到 3kHz 之間變化。可以通過控制線連接多個脈沖發(fā)生器 RD 300 以實現(xiàn)自動同步。

 

9、單極脈沖發(fā)生器 SD 30、SD 150 和 SD 300

結(jié)合 ADL 直流電源，脈沖發(fā)生器產(chǎn)生單極脈沖。脈沖發(fā)生器以 20kHz 的固定頻率工作。因此，使用外部信號發(fā)生器，該頻率可以在 1kHz 至 40kHz 的范圍內(nèi)變化。脈沖發(fā)生器配備有自動消弧裝置。Triplevel 和 Pulse off time 的參數(shù)會根據(jù)具體過程自動調(diào)整。完全不需要用戶編程。對于自動同步，可以通過控制電纜連接多臺發(fā)電機(jī)。在這種情況下，脈沖發(fā)生器會自動切換到外部同步。

 

輸出功率 3 kW、15 kW、30 kW

并聯(lián)運行高達(dá) 240 kW

自動電弧處理

輸出浮動

自動同步

風(fēng)冷

非常緊湊的設(shè)計

法蘭安裝

 

10、中頻雙極脈沖發(fā)生器 SB 300

發(fā)生器可用作中頻發(fā)生器以產(chǎn)生對稱的交流電流以及雙極脈沖發(fā)生器以產(chǎn)生不對稱的方波脈沖。使用特殊的比例功率控制器，雙磁控管的目標(biāo)壽命可以精確對稱。此外，還可以用不對稱脈沖功率控制兩種不同的目標(biāo)材料。比率功率控制器通過脈寬調(diào)制 (PWM) 自動設(shè)置脈沖時間。發(fā)生器以 20kHz 的固定頻率工作。發(fā)生器具有自動消弧功能。Triplevel 和 Pulse off time 的參數(shù)會根據(jù)所選過程自動調(diào)整。不需要用戶編程。對于自動同步，可以通過控制電纜連接多臺發(fā)電機(jī)。

 

輸出功率 30kW，交流

主/從或并聯(lián)單元組合，最大 240kW

比例功率控制器

自動同步

水冷

非常緊湊的設(shè)計

輸出浮動

模塊化系統(tǒng)允許將 HX (DC) 與單極脈沖發(fā)生器 (SD) 或雙極脈沖發(fā)生器 (SB) 結(jié)合使用

緊湊型設(shè)計 ½ 19“

帶 PWM 控制的雙極脈沖發(fā)生器保證絕對對稱濺射！

出色的超快和全自動電弧管理

工藝重現(xiàn)性：優(yōu)于1-2%

 

 

ADL 的直流濺射電源是為工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng)開發(fā)的。這些設(shè)備的特點是耐用、堅固和易于使用。全自動電弧處理可確保最佳涂層效果并防止操作錯誤。ADL 能夠根據(jù)模塊化原理構(gòu)建其設(shè)備，使用不同的模塊作為客戶特定的電源，從而最佳地適應(yīng)客戶的要求。