德國ATL LASER激光器ATLEX-300-FBG-KrF技術指導
公司介紹：
ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年，并于1994年通過開發世界上第一臺緊湊型、高重復率、短脈沖準分子激光器在紫外激光技術方面取得了突破。ATL通過幾代產品完善了這一革命性概念，如今，ATLEX產品系列以其獲得專利的預電離和放電技術引領世界。ATL繼續開發緊湊型短脈沖準分子激光器，并保持該領域的技術領先地位。
產品系列示例：
ATLEX-300-I系列激光器
ATLEX-500-I系列激光器
ATLEX-1000-I系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
ATLEX-1000-L系列激光器
ATLEX-300-FBG系列激光器
ATLEX-500-FBG系列激光器
ATLEX-LR系列激光器
ATLEX-S系列激光器
ATLEX-300-FBG系列激光器
產品特點：
高壓固態脈沖發生器
TMC（全金屬陶瓷）容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風冷/可選液冷，主動熱管理
用于系統集成的RS-485、RS232、USB和光纖接口
可沖洗的光學支架
能量穩定模式
動態風扇速度控制
德國ATL LASER 型號：ATLEX-300-FBG-KrF
氣體介質：KrF
波長：248nm
高壓開關技術：固態開關
最大脈沖能量：15mJ
最大平均功率：4.0W
空間相干（垂直光束方向）：>300µm
最大重復率：300Hz
脈沖持續時間：5–8ns
尺寸：4x6mm
光束發散：1x2mrad
能量穩定性：<3%
尺寸：540x470x370mm
重量：60kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國ATL LASER激光器ATLEX-300-FBG-KrF技術指導
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