過(guò)程保障：

所有Laurell過(guò)程控制器的"過(guò)程保護(hù)"功能確保相同的過(guò)程不會(huì)無(wú)意中在同一基板上運(yùn)行。可以很容易地繞過(guò)此功能以再次運(yùn)行相同的進(jìn)程，而無(wú)需打開(kāi)系統(tǒng)，或者可以一遍又一遍地運(yùn)行序列（循環(huán)）。

所需設(shè)施

N2過(guò)程/密封吹掃：

需要 60–70 PSIG （4–5 bar） 的氮?dú)?CDA來(lái)對(duì)迷宮式電機(jī)密封件加壓。這種氣體還會(huì)吹掃工藝腔室。氣體消耗非常低，每小時(shí)3立方英尺（0.085米）3/小時(shí)）用于我們的標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)，每小時(shí) 20 立方英尺（0.566 米）3/小時(shí)），用于我們的高性能電機(jī)。提供 10 英尺（300 厘米）的 3/16 英寸 （~4 毫米） 內(nèi)徑 X 1/4 英寸 （~6 毫米） 外徑PE管。

真空：

建議在 0 英寸汞柱下真空 25–28 英寸（~635–711 毫米）汞柱，流量為 4.5 SCFM（0.127 立方米/分鐘）。 提供 10 英尺（300 厘米）的 3/8 英寸（~9.5 毫米）外徑 X 1/4 英寸（約 6 毫米）內(nèi)徑PE管。

功率：