ADL主要系列產(chǎn)品：

1、直流電源 GS 系列 0.5 - 3.0kW GS 05 - GS 30

緊湊型電源是為生產(chǎn)工廠和實(shí)驗(yàn)室中的磁控管開(kāi)發(fā)的。簡(jiǎn)單和安全的操作使這些電源非常靈活，適用于許多過(guò)程。電弧處理會(huì)根據(jù)不同的工藝參數(shù)自動(dòng)調(diào)整，因此無(wú)需編程。這些裝置專(zhuān)為安裝在 19" 機(jī)架中而設(shè)計(jì)。

 

輸出功率 0.5 - 3.0kW

風(fēng)冷

½ 19″–外殼，3 HU

可互換的接口

電壓、電流、功率顯示

通過(guò)前面板手動(dòng)操作

自動(dòng)電弧處理

 

2、直流電源 GS 系列 6.0 - 15kW GS 60 - GS 150

GS 60 – GS 150 系列風(fēng)冷直流電源提供三種不同的版本：有源前面板、無(wú)源前面板和狀態(tài) LED。電源可以在沒(méi)有占空比限制的情況下以全額定功率運(yùn)行。多個(gè)電源的并聯(lián)運(yùn)行是可能的。GS 60 – GS 150 系列與 ADL 的所有電源一樣，具有極快的自動(dòng)消弧功能。電源的操作既簡(jiǎn)單又安全。

 

輸出功率 6.0 - 15kW

風(fēng)冷

19″–機(jī)箱，3 HU

浮動(dòng)輸出

焦耳模式

自動(dòng)電弧處理

 

3、直流電源 GSW 系列 10.0 - 30kW GSW 100 - GSW 300

并聯(lián)運(yùn)行時(shí)，輸出功率可增加到240kW。由于采用了特殊的電路布置，因此不需要“主從接線”。即使在沒(méi)有空調(diào)的房間里，高效的水冷也能保證最高的可靠性。電源可通過(guò)前面板或接口手動(dòng)操作。有不同的前面板和接口可用。超快速電弧處理完全自動(dòng)工作，即使在并行操作中也不需要同步。

 

輸出功率 10 – 30kW

水冷

19″–機(jī)箱，3 HU

浮動(dòng)輸出

并聯(lián)運(yùn)行高達(dá) 240 KW

自動(dòng)電弧處理

 

4、直流電源 GX 系列 5.0 - 15kW GX 50 - GX 150

GX-Sputtering 電源能夠每秒自動(dòng)消除高達(dá) 80.000 個(gè)電弧。這種極端的能力與電源的小尺寸相結(jié)合，對(duì)于 GX 系列來(lái)說(shuō)非常出色且意義重大，該系列還具有集成的陰極鉗位二極管。電源可以在沒(méi)有占空比限制的情況下以全額定功率運(yùn)行。

 

輸出功率 5 - 15 kW

水冷

½ 19″–外殼，3 HU

浮動(dòng)輸出

焦耳模式

自動(dòng)電弧處理

 

5、直流濺射電源 HX 150 – HX 300

½ 19” 寬度和 5 HU 的非常緊湊的設(shè)計(jì)專(zhuān)為沒(méi)有機(jī)柜的生產(chǎn)工廠而設(shè)計(jì)。HX 具有安裝法蘭，可以在任何位置集成到或連接到等離子室。顯示器可以旋轉(zhuǎn)并與電源分離。即使在沒(méi)有空調(diào)的房間里，高效的水冷也能確保最高的可靠性。為了避免冷凝水，可以通過(guò)集成溫度控制連接外部電磁閥。并聯(lián)運(yùn)行時(shí)輸出功率可達(dá)240kW。特殊的電子設(shè)計(jì)允許主從操作以及通過(guò) Interface-Combiner 或 Profibus 的并行操作。極快的 Arc-Handling 完全自動(dòng)工作，因此無(wú)需設(shè)置參數(shù)

 

輸出功率 15kW – 30kW

并聯(lián)運(yùn)行高達(dá)240kW

水冷

電磁閥控制

帶集成顆粒攔截器的機(jī)柜通風(fēng)

½ 19”- 外殼，5 HU

法蘭安裝

M8-吊眼用內(nèi)螺紋

可更換、可旋轉(zhuǎn)的顯示器

自動(dòng)電弧處理

 

7、離子源電源

對(duì)于離子源（Kaufmann 和 ECR）的操作，可使用特殊電源。根據(jù)要求，這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率。所有電源都有一個(gè)模擬接口或 Profibus

 

8、脈沖發(fā)生器、選件和附件：RD 300、D 300、RC4、AM2、OM5

脈沖發(fā)生器 RD 300 與大多數(shù) ADL 電源結(jié)合使用諧振開(kāi)關(guān)電路。憑借非凡的效率（30kW 時(shí)為 99.5%），該裝置非常緊湊，功耗最大為 150W。現(xiàn)有設(shè)備可以輕松改造，因?yàn)槊}沖發(fā)生器 RD 300 直接與直流電源并聯(lián)連接到陰極。發(fā)生器以 2kHz 的固定頻率運(yùn)行。然而，使用外部信號(hào)發(fā)生器，該頻率可以在 0.2 到 3kHz 之間變化。可以通過(guò)控制線連接多個(gè)脈沖發(fā)生器 RD 300 以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)同步。

 

9、單極脈沖發(fā)生器 SD 30、SD 150 和 SD 300

結(jié)合 ADL 直流電源，脈沖發(fā)生器產(chǎn)生單極脈沖。脈沖發(fā)生器以 20kHz 的固定頻率工作。因此，使用外部信號(hào)發(fā)生器，該頻率可以在 1kHz 至 40kHz 的范圍內(nèi)變化。脈沖發(fā)生器配備有自動(dòng)消弧裝置。Triplevel 和 Pulse off time 的參數(shù)會(huì)根據(jù)具體過(guò)程自動(dòng)調(diào)整。完全不需要用戶(hù)編程。對(duì)于自動(dòng)同步，可以通過(guò)控制電纜連接多臺(tái)發(fā)電機(jī)。在這種情況下，脈沖發(fā)生器會(huì)自動(dòng)切換到外部同步。

 

輸出功率 3 kW、15 kW、30 kW

并聯(lián)運(yùn)行高達(dá) 240 kW

自動(dòng)電弧處理

輸出浮動(dòng)

自動(dòng)同步

風(fēng)冷

非常緊湊的設(shè)計(jì)

法蘭安裝

 

10、中頻雙極脈沖發(fā)生器 SB 300

發(fā)生器可用作中頻發(fā)生器以產(chǎn)生對(duì)稱(chēng)的交流電流以及雙極脈沖發(fā)生器以產(chǎn)生不對(duì)稱(chēng)的方波脈沖。使用特殊的比例功率控制器，雙磁控管的目標(biāo)壽命可以精確對(duì)稱(chēng)。此外，還可以用不對(duì)稱(chēng)脈沖功率控制兩種不同的目標(biāo)材料。比率功率控制器通過(guò)脈寬調(diào)制 (PWM) 自動(dòng)設(shè)置脈沖時(shí)間。發(fā)生器以 20kHz 的固定頻率工作。發(fā)生器具有自動(dòng)消弧功能。Triplevel 和 Pulse off time 的參數(shù)會(huì)根據(jù)所選過(guò)程自動(dòng)調(diào)整。不需要用戶(hù)編程。對(duì)于自動(dòng)同步，可以通過(guò)控制電纜連接多臺(tái)發(fā)電機(jī)。

 

輸出功率 30kW，交流

主/從或并聯(lián)單元組合，最大 240kW

比例功率控制器

自動(dòng)同步

水冷

非常緊湊的設(shè)計(jì)

輸出浮動(dòng)

模塊化系統(tǒng)允許將 HX (DC) 與單極脈沖發(fā)生器 (SD) 或雙極脈沖發(fā)生器 (SB) 結(jié)合使用

緊湊型設(shè)計(jì) ½ 19“

帶 PWM 控制的雙極脈沖發(fā)生器保證絕對(duì)對(duì)稱(chēng)濺射！

出色的超快和全自動(dòng)電弧管理

工藝重現(xiàn)性：優(yōu)于1-2%

 

 

ADL 的直流濺射電源是為工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng)開(kāi)發(fā)的。這些設(shè)備的特點(diǎn)是耐用、堅(jiān)固和易于使用。全自動(dòng)電弧處理可確保最佳涂層效果并防止操作錯(cuò)誤。