法國Phasics  SID4-UV-HR技術指導
 

 

法國Phasics  SID4-UV-HR

 

產品介紹：

 

基于Phasics的專利技術，SID4UV-HR波前傳感器在190nm至400nm的紫外光譜中提供無與倫比的高分辨率（355x280個測量點）和非常高的靈敏度（1nmRMS）。因此，SID4UV-HR完美適用于光學元件表征（用于光刻、半導體……）和表面檢測（透鏡和晶圓……）。

 

產品特點：

 

靈敏度低至190nm

高靈敏度–1nmRMS

超高分辨率（355x280采樣）

 

產品參數：

 

波長范圍：190-400納米

孔徑尺寸：13.8x10.88平方毫米

空間分辨率：38.88微米

相位和強度采樣：355×280

分辨率（相位）：1納米有效值

準確度（絕對）：10納米有效值

獲取率：30幀/秒

實時處理頻率*：>3fps（全分辨率）*

界面：相機鏈接

尺寸(WxHxL)：51x51.1x76毫米³

重量：~300克

 

法國Phasics  SID4-HR

 

產品介紹：

 

SID4-HR為最苛刻的波前測量應用帶來了超高相位采樣(400x300)和高動態范圍(500µmPV)。其大孔徑和極高的波前靈敏度使其非常適合直接測量大發散光束而無需中繼光學器件。

 

產品特點：

 

超高分辨率（400x300相位像素）

大分析瞳孔：11.8x8.9mm²

直接測量高達0.8的高NA光束

 

產品參數：

 

波長范圍：400-1100 納米

孔徑尺寸：11.84 x 8.88 平方毫米

空間分辨率：29.6 微米

相位和強度采樣：400×300

分辨率（相位）：2 納米有效值

準確性：15 納米有效值

獲取率：10 幀/秒

實時處理頻率*：3 fps（全分辨率）

界面：千兆以太網

尺寸 (WxHxL)：54 x 46 x 79 毫米³

重量：~250 克

 

法國Phasics  Kaleo 套件

 

產品介紹：

 

KaleoKit是用于光學鑒定的模塊化系統。它結合了廣泛的兼容模塊，讓您可以創建一個經濟高效、緊湊且易于使用的系統，該系統可以適應各種測量配置，并在所有開發階段確保您的樣品質量。一次采集即可訪問樣品的所有特征：TWE、RWE、波前像差、MTF、PSF等等！

 

產品特點：

 

通用性：從紫外到紅外，模塊兼容獨立使用

強大的獨特技術：高分辨率、大動態范圍、納米級靈敏度

易于使用：緊湊且易于對齊

 

產品參數：

 

1-選擇您的波前傳感器：SID4UV/SID4/SID4-HR/SID4-SWIR/SID4SWIR-HR/SID4DWIR

2-選擇您的R-Cube波長(nm)*：365/405/530/625/740/780/810/850/940/1050/1550/3900

3.1-使用聚焦系統(F#)塑造光束*：0.6/1/1.6/2.5/5/10

3.2-使用擴束器塑造光束–出瞳直徑(mm)*：8/15/30/60/130

+參考鏡：平面或球體

 

法國Phasics  SID4-UHR

 

產品介紹：

 

SID4-UHR超高分辨率波前傳感器適用于光學計量需求。它結合了SID4的易于實施與高采樣和分辨率。它的大孔徑允許對整個被測樣品進行實時波前測量。SID4-UHR針對表面檢測（粗糙度、高頻缺陷檢測...）和光學元件表征（透鏡、物鏡、非球面和自由曲面光學...）進行了優化。它采用高性能相機構建，為激光表征提供了令人難以置信的精度。具有如此緊湊性的512x512（選件666x666）相位圖采樣使SID4-UHR成為研究和工業領域的光學和激光計量的獨特工具。

 

產品特點：

 

非常高分辨率

大分析瞳孔：15.16x15.16mm²

消色差

 

產品參數：

 

波長范圍：400-1100 納米

孔徑尺寸：15.16 x 15.16 平方毫米

空間分辨率：29.6 µm（選項 22.2 µm）

相位和強度采樣：512 x 512（選項 666 x 666）

分辨率（相位）：2 納米有效值

準確性：15 納米有效值

獲取率：8 幀/秒

實時處理頻率*：1 fps（全分辨率）

界面：千兆以太網

尺寸 (WxHxL)：60 x 60 x 70 毫米³

重量：~450 克