用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓處理的伸縮式氣缸系統(tǒng)
專用鍍膜機(jī)用于在硅盤，晶圓上高真空生產(chǎn)半導(dǎo)體。大約數(shù)千個(gè)半導(dǎo)體可以位于一個(gè)12英寸晶圓上。對(duì)于不同的工藝，晶圓必須在機(jī)器內(nèi)部移動(dòng)幾次。直徑為 180 mm 和 280 mm 的伸縮式氣缸位于機(jī)器中的環(huán)形位置，并在每個(gè)周期后切換，用于處理晶圓。該過(guò)程所需的不同介質(zhì)通過(guò)活塞桿。
6、應(yīng)用程序關(guān)系.sys。工程
我們?cè)谠O(shè)計(jì)和實(shí)施流體工程系統(tǒng)方面非常靈活。無(wú)論是在壓力產(chǎn)生和處理領(lǐng)域，還是在驅(qū)動(dòng)、控制和移動(dòng)領(lǐng)域。
帶集成球?qū)к壍臍飧紫到y(tǒng)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的晶圓處理
該圓柱體系統(tǒng)在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中定位打印掩模。外殼由一個(gè)塊加工而成。集成的滾珠導(dǎo)軌可實(shí)現(xiàn)兩個(gè)氣缸的最高精度和再現(xiàn)性。氣缸的多個(gè)位置可以通過(guò)集成傳感器進(jìn)行監(jiān)控。可調(diào)節(jié)的終端位置阻尼器可確保無(wú)振動(dòng)工作。
7、應(yīng)用程序關(guān)系.sys。工程
我們?cè)谠O(shè)計(jì)和實(shí)施流體工程系統(tǒng)方面非常靈活。無(wú)論是在壓力產(chǎn)生和處理領(lǐng)域，還是在驅(qū)動(dòng)、控制和移動(dòng)領(lǐng)域。
多缸體，設(shè)計(jì)緊湊
該缸體用于裝配自動(dòng)化系統(tǒng)。由于與給定的中心線距離相結(jié)合的力增加，因此無(wú)法使用標(biāo)準(zhǔn)氣缸。氣缸孔按照定制的特定距離制造。氣缸位置可以通過(guò)盲板單獨(dú)淡出。磁簧活塞和用于干簧傳感器的安裝槽可實(shí)現(xiàn)精確的終端位置監(jiān)控。
8、應(yīng)用程序關(guān)系.sys。工程
我們?cè)谠O(shè)計(jì)和實(shí)施流體工程系統(tǒng)方面非常靈活。無(wú)論是在壓力產(chǎn)生和處理領(lǐng)域，還是在驅(qū)動(dòng)、控制和移動(dòng)領(lǐng)域。
用于刀具夾緊的高溫氣缸
該氣缸的最高工作溫度為 300 °C。 它們驅(qū)動(dòng)夾緊系統(tǒng)，用于固定用于熱處理的零件。因此，氣缸被沖出，驅(qū)動(dòng)夾緊機(jī)構(gòu)，然后氣缸減壓。內(nèi)部鎖定機(jī)構(gòu)將桿鎖定在前端位置。氣缸與夾緊系統(tǒng)一起加熱至300°C的溫度。 特殊的密封和潤(rùn)滑系統(tǒng)保證了長(zhǎng)期使用。
9、應(yīng)用程序關(guān)系.sys。工程
我們?cè)谠O(shè)計(jì)和實(shí)施流體工程系統(tǒng)方面非常靈活。無(wú)論是在壓力產(chǎn)生和處理領(lǐng)域，還是在驅(qū)動(dòng)、控制和移動(dòng)領(lǐng)域。
用于彈性體噴射成型鑄造的鼓風(fēng)筒
當(dāng)噴射成型大型彈性體部件時(shí)，鑄件通過(guò)加壓空氣從鑄造模具表面吹出。氣缸保持送氣孔在施加壓力時(shí)保持關(guān)閉。為了吹掉零件，氣缸被向后沖并打開(kāi)內(nèi)部供應(yīng)孔。氣缸不旋轉(zhuǎn)，以確保氣缸和模具表面之間的正確位置
10、應(yīng)用程序關(guān)系.sys。工程
我們?cè)谠O(shè)計(jì)和實(shí)施流體工程系統(tǒng)方面非常靈活。無(wú)論是在壓力產(chǎn)生和處理領(lǐng)域，還是在驅(qū)動(dòng)、控制和移動(dòng)領(lǐng)域。
用于磨臺(tái)移動(dòng)的 4 級(jí)伸縮式油缸
為了提升磨床的磨臺(tái)，使用這種單作用伸縮式氣缸中的4個(gè)。在最小高度為120 mm時(shí)，該氣缸可提供260 mm的行程。為避免通過(guò)研磨水腐蝕，氣缸的所有部件都涂有涂層。
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