PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動器N-216.101

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NEXLINE線性促動器

長行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

系列特點：

N-216

§ 力量生成達600牛

§ 保持力達800牛

§ 行程20毫米

§ 帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器 5納米

應用領域

§ 工業級精度定位

§ 半導體技術

§ 半導體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進驅動實現納米精度和大進給力 、數個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進行最小步進和推進運動。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形

變不會對測量造成影響

適用于復雜真空應用

PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器 還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環境中。

型號示例：

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ，20毫米，300牛，開環

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ，20毫米，600牛，開環

       N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率

漢達森簡介：    

    北京漢達森機械技術有限公司是一家專業從事歐洲工業產品進口貿易的公司。主要產品有工業自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。

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PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動器N-216.101