APT勻膠旋涂儀SPIN150i
APT勻膠旋涂儀
Spin Processor勻膠旋涂儀POLOS系列
德國POLOS系列勻膠旋涂儀提供了先進、可重復的工藝流程控制方案.
一個高效的空氣動力學腔體確保旋涂的高度均勻性，天然聚丙烯
（NPP）或聚四氟?乙烯（PTFE）材質，整機無?金屬裸露，無交叉污染，
易清洗維護，為用戶帶來全新的操作體驗.
操作控制器可拆卸，全尺寸的觸摸屏，可戴手套操作，耐化學性。
系統參數表
SPIN150i SPIN200i
程序段數： 無限制 無限制
操作步數： 無限制 無限制
旋轉速度： 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-12,000 rpm ±1rpm steps
旋轉精度： ± 0.1 rpm ± 0.1 rpm
旋轉方向： 順時針、逆時針、交換擺動 順時針、逆時針、交換擺動
最大加速度： 30,000 rpm/sec 30,000 rpm/sec
旋轉時間： 無限制*, ± 0.1 seconds steps 無限制*, ± 0.1 seconds steps
基片范圍： 160mm 直徑or 4?″ ?片 260 mm 直徑or 6?″ ?片
腔體直徑： 202 mm 302 mm
外形尺寸： 274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm 380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
勻膠旋涂儀SPIN PROCESSOR
1、運行條件
外殼材質：天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE）
腔體材質：天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE）
外部連接：通過USB連接；
輸入電壓：200-240VAC、50/60 ；
功率消耗：最?大500w
最大電流：2,5A
真空吸附：-65kPa(-19inchHg),≥80lpm，Tube OD Ø8mm
馬達保護：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm（可關閉）
排廢連接：1” M-NPT
2、清晰可見的工藝處理過程
可拆卸，與主機分離的多功能控制器
每?步運?行的實時參數，看得?用戶常為在工藝處理過程中不能?自由調節交互
處理?而苦惱。
全彩觸摸屏界?面，所見即所得
操作安全，相當重要
堅固的帶有鉸鏈的防護蓋板，具有良好的操作?角度及電磁閥安全鎖定。
在程序結束直到速度完全達到0 rpm或在斷電情況下才可以開啟
APT勻膠旋涂儀SPIN150i
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