亞納米級分辨率位置傳感器

·         適用于具有最高精度要求的應(yīng)用

·         測量范圍達 1000 μm

·         分辨率高達 0.01 nm

·         線性誤差高達 0.01 %，采用數(shù)字控制器

·         E-509.CxA 控制電子元件，兼容 E-500 壓電控制器系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

高精度定位。

分辨率

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電容式傳感器可在較短的距離內(nèi)實現(xiàn)皮度計的分辨率。理論測量分辨率是無限的。在實踐中，散射輻射、幾何效應(yīng)和測量電子噪聲會影響可實現(xiàn)的精度。與E-509配合使用。C1A電子元件，D-100.00傳感器的有效噪聲因數(shù)（100μm）為0.02 nm/ÖHz。例如，對應(yīng)于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 帶寬。電子元件的跳線可調(diào)帶寬高達3 kHz。

除了此處列出的標準傳感器外，PI還提供定制版本，例如測量，幾何形狀，材料，電子等。