Oerlikon Leybold 渦輪分子真空泵

機(jī)械、混合和磁懸浮高真空泵

渦輪分子真空泵用于需要清潔高真空或超高真空的應(yīng)用，例如核聚變的研究與開(kāi)發(fā)，或涂層工業(yè)和分析儀器等工業(yè)領(lǐng)域。

 

原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪機(jī)，其中渦輪機(jī)的級(jí)裝有多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片之間的是固定的定子盤(pán)，其葉片以相反的方向排列。

 

通過(guò)從旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動(dòng)量傳遞，氣體分子開(kāi)始非定向熱運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋玫娜肟诜ㄌm沿軸向前真空法蘭的方向運(yùn)動(dòng)。

在分子流動(dòng)范圍內(nèi)（即在壓力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為零點(diǎn)幾毫米）。相應(yīng)地，分子主要與光學(xué)致密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，從而產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流（恒定）流量范圍內(nèi)（即壓力超過(guò) 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））轉(zhuǎn)子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。

因此，渦輪分子泵無(wú)法在大氣壓下泵送氣體。

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC i

模塊化渦輪分子真空泵系列，抽速?gòu)?90 到 1450 L/s。

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 90 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 83  L/s

抽速： 90  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 350 i/iX

5 種變體

抽速 （Ar）： 260  L/s

抽速： 360  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 450 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 400  L/s

抽速： 440  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 250 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 210  L/s

抽速： 250  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 850 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 655  L/s

抽速： 850  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 450 iR

2 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 950 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 840  L/s

抽速： 925  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 850 iR

2 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 1450 i

8 種變體

抽速 （Ar）： 1280  L/s

抽速： 1390  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 1350 i

8 種變體

抽速 （Ar）： 1150  L/s

抽速： 1350  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 90 iR

3 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 950 iR

2 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 350 iR

2 種變體

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 250 iR

2 種變體