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品牌Grobenzell	有效期至長期有效	最后更新2025-06-25 13:56
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德國 Grobenzell VSH 高真空步進電機

自 1947 年于德國 Grobenzell 小鎮創立以來，Phytron 始終秉持 “phutron a step ahead” 的創新哲學，在步進電機領域精耕細作超 70 載。作為幕后的技術巨擘，Phytron 專注于攻克極端環境下的驅動難題，產品廣泛應用于工業自動化、醫療、半導體，甚至助力 “好奇號” 火星車在火星探測任務中實現激光束與相機的精準聚焦。憑借對真空兼容性、低溫適應性及驅動控制智能化的系統性突破，Phytron 構建起豐富且性能卓越的產品矩陣，以滿足不同行業的嚴苛需求。

（一）VSH 高真空步進電機?

核心參數：該系列電機真空度可達 10?? mbar，能在超高真空環境下穩定運行。例如 VSH 80.200.5 型號，采用非磁性不銹鋼（如 V4A 材質）與鍍金引線，將材料出氣率控制在 10?¹² Pa?m³/s 以下，有效避免在超高真空下出現冷凝與揮發問題。通過焊接密封與迷宮式結構設計，其泄漏率較傳統設計降低 99% ，確保內部精密部件不受真空環境影響。保持扭矩范圍根據不同型號有所差異，可滿足多種負載需求。?

應用場景：在半導體蒸鍍設備中，VSH 高真空步進電機成為 “標準配置”，用于精準調節靶材位置，定位精度可達 ±1μm，確保蒸鍍過程的均勻性與穩定性，提高芯片制造的良品率。在電子束蒸發設備中，同樣能發揮其高真空適應性與精準定位優勢，助力實現高質量的薄膜制備。?

（二）VSS 低溫步進電機?

核心參數：可在 - 196°C 至 + 85°C 的寬溫度范圍內穩定工作，特別針對低溫環境研發了專用鋰基潤滑脂與柔性電纜，保障電機在 - 196°C 液氮環境下啟動扭矩波動＜5% ，運行平穩。以 VSS32.200.1.2 型號為例，保持扭矩范圍從 3.4 mNm 至 13 Nm（具體依型號和配置而定），電機直徑涵蓋 19 至 125 毫米多種規格，適配不同空間與負載要求。搭配 SinCos 編碼器，可實現 ±0.001mm 的重復定位精度，滿足超精密運動控制需求。同時，該系列電機具備抗輻射能力，輻射強度高達 10? J/kg ，并能承受一定的沖擊和振動載荷，確保在復雜環境中的可靠性。?