NEXACT線性促動器，機械手，壓電步進

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高分辨率，可選配位置傳感器

N-381

§ 行程30毫米

§ 力量生成達10牛

§ 帶NEXACT壓電陶瓷步進驅動

§ 可選配：集成線性編碼器，分辨率為20 納米

應用領域

§ 工業級精度定位

§ 半導體技術

§ 半導體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進驅動實現納米精度和大進給力

數個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進行最小步進和推進運動。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

訂購信息

N-381.30

NEXACTUATOR線性促動器，30毫米，開環

N-381.3A

NEXACTUATOR線性促動器，30毫米，編碼器分辨率為20納米

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