NEXACTOEM小型線性電機/促動器

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緊湊，快速，具有長行程，PiezoWalk原理

N-310

§ 行程為10至125毫米，動輪長度可變

§ 緊湊型設計，經(jīng)濟劃算的設計

§ 分辨率達0.03納米

§ 力量生成達10牛

應用領域

§ 工業(yè)級精度定位

§ 半導體技術

§ 半導體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進驅動實現(xiàn)納米精度和大進給力

數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執(zhí)行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進行最小步進和推進運動。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學線性編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈

性形變不會對測量造成影 響。

適用于復雜真空應用

PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器 還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

訂購信息

N-310.10

NEXACT OEM線性驅動器，10毫米，10牛

N-310.101

NEXACT OEM線性驅動器，10毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.11

NEXACT OEM線性驅動器，20毫米，10牛

N-310.111

NEXACT OEM線性驅動器，20毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.12

NEXACT OEM線性驅動器，30毫米，10牛

N-310.121

NEXACT OEM線性驅動器，30毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.13

NEXACT OEM線性驅動器，50毫米，10牛

N-310.131

NEXACT OEM線性驅動器，50毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.14

NEXACT OEM線性驅動器，75毫米，10牛

N-310.141

NEXACT OEM線性驅動器，75毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.15

NEXACT OEM線性驅動器，100毫米，10牛

N-310.151

NEXACT OEM線性驅動器，100毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.16

NEXACT OEM線性驅動器，125毫米，10牛

N-310.161

NEXACT OEM線性驅動器，125毫米，10牛，偏移電纜出口

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