NEXLINE線性促動(dòng)器

長(zhǎng)行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

譚晶 QQ：2853369887   手機(jī)：18518172492 電話：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

N-216

§ 力量生成達(dá)600牛

§ 保持力達(dá)800牛

§ 行程20毫米

§ 帶分辨率的集成式直接測(cè)量線性編碼器 5納米

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 工業(yè)級(jí)精度定位

§ 半導(dǎo)體技術(shù)

§ 半導(dǎo)體測(cè)試

§ 晶圓檢測(cè)

§ 平版印刷術(shù)

§ 納米壓印

§ 納米測(cè)量

§ 強(qiáng)磁場(chǎng)和真空中運(yùn)動(dòng)

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力 、數(shù)個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

增量編碼器用于高精度位置測(cè)量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺(tái)上測(cè)量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形

變不會(huì)對(duì)測(cè)量造成影響

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的，并且適合在強(qiáng)磁場(chǎng)中運(yùn)行。驅(qū)動(dòng)器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器 還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無(wú)塵室或環(huán)境中。

訂購(gòu)信息

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器 ，20毫米，300牛，開(kāi)環(huán)

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器 ，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器 ，20毫米，600牛，開(kāi)環(huán)

N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器 ，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率

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PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動(dòng)器N-216