NEXLINEOEM線性促動器

長行程納米定位，PiezoWalk原理

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N-111

§ 行程10毫米

§ 帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器 5納米

§ 力量生成達50牛

§ 保持力達70牛

應用領域

§ 工業級精度定位

§ 半導體技術

§ 半導體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進驅動實現納米精度和大進給力

數個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進行最小步進和推進運動。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

適用于復雜真空應用

PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器 還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環境中。

訂購信息

N-111.2A1

NEXLINE OEM壓電步進促動器，10毫米，50牛， 線性編碼器，5納米分辨率

N-111.201

NEXLINE OEM壓電步進促動器，10毫米，50牛

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