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S-303 壓電移相器

帶直接計量選項的高速壓電移相器

諧振頻率為25千赫茲，可實現亞毫秒級的動態

行程為3微米

帶孔徑的開環版本

電容式傳感器選項可實現最高的線性度和穩定性

緊湊尺寸：直徑為30毫米×10毫米

殷鋼選項可實現最高的熱穩定性

應用領域

?（菲索）干涉儀

?光學納米操作和檢查

?掃描顯微鏡

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

訂購信息

S-303.0升

壓電移相器，3 µm，無傳感器

S-303光盤

壓電移相器，3 µm，電容傳感器

S-303.0LI

壓電移相器，3 µm，無傳感器，殷鋼

S-303.CDI

壓電移相器，3 µm，電容傳感器，Invar

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