三軸伺服控制器模塊，E-500壓電控制器系統

·         E-509.E03： 電子模塊，3軸，用于電容式傳感器

·         E-509.E3：傳感器模塊，3軸，帶用于壓電系統的附加伺服控制器

·         用于 E-500 / E-501 機箱的插入式模塊

·         ILS 電路優化了電容式傳感器線性度

·         可選測量范圍

·         可變帶寬（可選）

用于PISeca的信號評估和伺服控制器模塊

E-509。E03 和 E-509。E3 可作為 E-500 / E-501 機箱的插入式模塊提供，用于 PISeca 系列中的高分辨率電容式單板傳感器：

·         E-509.E03 用于信號評估

·         E-509.E3 作為伺服控制器模塊

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電容式測距原理

兩種類型的電容式距離傳感器很常見：單電極傳感器和兩電極傳感器。

雙電極傳感器可以實現更低的噪聲水平和更高的分辨率。其原理基于兩個導電表面和高頻（>100kHz）交流電，在它們之間產生均勻的電場。電容與有效表面除以距離成正比。對于給定區域，測量的距離與距離成正比。單電極電容式傳感器的工作原理類似。它們更易于處理，并且可以針對各種導電表面進行測量。